250WのHg-Xeランプを搭載した標準光源となります。
露光や接着、化学反応の評価や表面処理等、幅広い用途でご使用頂けます。
弊社がこれまで培った設計技術により、業界最高レベルのコンパクト化に成功、熱電導解析シミュレーションにより高安定性と高寿命を実現しています。
250WのHg-Xeランプを搭載した標準光源となります。
露光や接着、化学反応の評価や表面処理等、幅広い用途でご使用頂けます。
弊社がこれまで培った設計技術により、業界最高レベルのコンパクト化に成功、熱電導解析シミュレーションにより高安定性と高寿命を実現しています。
項目 | 内容 |
---|---|
入力電源 | AC100V±10%/200V±10%(出荷時設定) |
消費電力 | 450VA |
Lamp | Hg-Xe Lamp 250W (ozone-produce specification ) |
Lamp寿命 | 3,000時間 (破裂及び不点灯) |
初期紫外線強度 | 4,500mw/cm2 |
使用環境温度 | 5~40℃(結露無きこと。) |
本体外形寸法 | 184.4(W) × 340.1(D) × 235.9(H) mm |
重量 | 約6.5Kg |
紫外線硬化型接着剤による光学部品や極小部品の接着用途に最適です。 軽量かつコンパクトとし、通信機能を備え、装置への搭載を前提として設計されたモデルとなります。 照射Headは4CH接続可能であり、更に分岐BOXを使用する事により最大16灯のLEDを点灯する事が可能となります。 ま...
g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 新規装置への搭載はもちろん、現状ご使用のUVランプ光源からの置き換えも容易です。 UV-LED搭載により、消費電力の低減、環境負荷の低減、発光源の長寿命化、更にはメカ関係の消耗部品が一切不要になることにより、お客様の...
g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 独自の光学設計により7,000mw/㎝²以上という高出力化を実現しました。 今まで多くの処理時間を要していた厚膜レジストの処理に最適です。 更に露光処理時間が大幅に短縮でき、ウエハ処理枚数の増大に大きく貢献します。
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