当社は、周辺露光装置の開発・製作を行っており、老朽化した周辺露光装置などの、リプレイスに対応しています。
半導体ウエハの端部に光をあて露光する周辺露光装置は、半導体露光における補助工程を担う装置です。しかし、周辺露光装置単体を製造するメーカーは少なく、老朽化した装置をリプレイスできずに使用し続ける企業も多く、当社に多数のご相談を頂いています。
コータデベロッパは高額であり、それ自体を買い替えるのは導入コスト面で現実的ではありません。当社は、周辺露光装置のリプレイスに、最適コストで対応します。

「周辺露光装置が老朽化しており、メンテナンスも難しくなってきたので入れ替えたいが相談先がない...」とお悩みの皆様、お気軽にご相談ください。