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UV-LEDで、KrFレジストの露光に対応できますか?

KrFレジストの露光について、当社では対応実績はありません。ただし、開発中のデモ機がございますので、KrFレジストの露光をUVランプからUV-LEDに置き換えることを検討されているお客様は、お気軽にご相談ください。
デモ機を持参させて頂き、テストを実施します。

>>「露光装置用UVランプからUV-LED置き換えサービス」はこちら!

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