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ステッパー用の本露光(メイン露光)の用途で、UVランプからUV-LEDに置き換えすることはできますか?

ステッパー用の本露光の用途では、置き換えは難しいです。周辺露光の場合であれば、UV-LEDを使用することができますが、本露光の場合、現時点ではUV-LEDの仕様が難しいとされています。

周辺露光用途であれば、置き換えが可能ですので、そのようなお困りごとがございましたら、お気軽にご連絡ください。

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