コーターデベロッパ用紫外線(UV)照射装置
| 波長 | 365nm |
|---|---|
| 用途 | 露光 |
| 業界 | 半導体製造装置 |
| 搭載する装置 | コーターデベロッパ |
半導体製造装置のコータデベロッパとは、フォトレジストの塗布と現像を行う装置です。シリコンウエハにレジストをスピンコートした際に発生するウエハ周辺部の不要レジストを除去するために、UV（紫外線）照射装置が用いられています。
コータデベロッパで使用されるUV（紫外線）光源の発光源は、水銀を含むUV（紫外線）ランプが一般的です。しかしながら近年ではUV（紫外線）LEDの出力も向上し、光源として利用されるケースも増えてきています。
既存のUVランプで得られている照射エリア、均一性を持たせたUV-LED光源を搭載することで、光源入れ替えコストの削減と長寿命化によるランニングコストの削減が可能となります。
