狭小部への斜め照射ヘッドの開発
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製品分類
UV-LED光源
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装置
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業界
電子デバイス製造
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波長
365nm
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照射エリア
3.5×3.5mm
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課題
特殊環境における照射ヘッドの開発
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用途
硬化・接着
お客様の課題
ワークにUV照射を行いたいが、ワークの搬送経路がワークの真上に位置しているため、斜め方向からUVを照射する必要がありました。
しかし、斜め方向からの照射では、樹脂硬化に必要な照度が確保できなかったため、UV照射ヘッドをワークに近づけて照度を上げようとした所、UV照射ヘッドが装置やワーク搬送経路に干渉してしまい、これ以上照度を上げる事が困難な状況になっていました。
提案・導入効果
ワークの搬送経路を確保するため照射ヘッドの中央に円柱状の逃がしを設けたうえで、狭い装置内の限られたスペースにも設置可能な照射ヘッドを提案しました。
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課題解決イメージ
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照度分布
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照度分布_縦軸方向
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照度分布_横軸方向
設計のポイント
ワークの搬送経路や装置内の空きスペース、樹脂硬化に必要な照度などの情報をヒアリングし、照射ヘッドのサイズや形状の詳細検討を行いました。
限られたスペースで硬化に必要な照度を得るため照射ヘッドを小型化したうえ、UVの照射角度やレンズなどの光学配置を最適化することにより、装置やワークの搬送経路に干渉することなく、必要十分な照度でのUV照射を可能にしました。
課題解決事例一覧
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狭小部への斜め照射ヘッドの開発
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用途
硬化・接着
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業界
電子デバイス製造
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装置
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波長
365nm
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課題
特殊環境における照射ヘッドの開発
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コリメートユニットの開発
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
アライナー用光源
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波長
365nm
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課題
UV-LED光源に代替したい
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海外メーカー製のUVランプ光源の修理
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用途
超高圧水銀ランプ350Wのランプ電源
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業界
半導体製造
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装置
マスクアライナ装置搭載用
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波長
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課題
ランプが点灯しない
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UVモニター用特注センサヘッド開発によるロングアークランプの照度測定
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用途
照度測定
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業界
電子デバイス製造
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装置
モールディング装置
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波長
365nm
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課題
照度計の劣化、測定の実現
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