FPD露光装置用紫外線(UV)照射装置
| 波長 | 405nm |
|---|---|
| 用途 | 露光 |
| 業界 | 液晶パネル |
| 搭載する装置 | 周辺露光用装置 |
FPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置とは、液晶パネル・有機ELパネルなど、小型から大型デバイス用ディスプレイを製造する際に、ガラス基板に画素回路を形成するための装置となります。 FPD露光装置の中で、レジストをスピンコートした際に発生する、液晶パネル周辺部の不要レジストを除去するために、UV（紫外線）照射装置が用いられています。
レジスト除去用UV照射装置について、光源にはUVランプが使用されることが一般的です。しかし、角度成分をはじめ、光成分を合わせることで、UVランプからUV-LEDに置き換えることも可能です。
