ダイシングテープ剥離用UV照射装置
波長 | 365nm |
---|---|
用途 | 易剥離 |
業界 | 半導体 |
搭載する装置 | ダイシングマシン |
半導体製造ラインにおいて、半導体ウエハのダイシング工程でテープを剥離するために、UV照射装置が用いられています。
UVテープを剥離する際に使用するUVの波長は365nmが一般的で、水銀ランプやメタルハライドランプ、UV-LED、ブラックライトなどが光源として使用されています。
紫外線照射装置、UV-LED、UV Lampの技術情報サイト
波長 | 365nm |
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用途 | 易剥離 |
業界 | 半導体 |
搭載する装置 | ダイシングマシン |
半導体製造ラインにおいて、半導体ウエハのダイシング工程でテープを剥離するために、UV照射装置が用いられています。
UVテープを剥離する際に使用するUVの波長は365nmが一般的で、水銀ランプやメタルハライドランプ、UV-LED、ブラックライトなどが光源として使用されています。
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