紫外線照射装置、UV-LED、UV Lampの技術情報サイト
フレキシブル基板とは、フレキシブルプリント配線板のことで、他の基盤と比較して薄く柔軟性に優れるため、折り曲げが可能で、機器内の三次元配線や、可動配線に対応できることが最大の特徴です。
このフレキシブル基板の露光にも紫外線照射装置が使用されます。使用される光源はUVランプが一般的です。
既存のUVランプで得られている照射エリア、均一性を持たせたUV-LED光源を搭載することで、光源入れ替えコストの削減と長寿命化によるランニングコストの削減が可能となりますので、こちらにご興味ございましたら、是非お気軽にお問い合わせください。
ウエハ周辺露光用光源の置き換えでコスト30%以上削減
用途
露光
業界
半導体製造
装置
コータデベロッパ
波長
365nm
課題
初期コストとランニングコスト削減
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