課題解決事例 一覧
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狭小部への斜め照射ヘッドの開発
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用途
硬化・接着
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業界
電子デバイス製造
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装置
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波長
365nm
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課題
特殊環境における照射ヘッドの開発
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コリメートユニットの開発
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
アライナー用光源
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波長
365nm
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課題
UV-LED光源に代替したい
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海外メーカー製のUVランプ光源の修理
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用途
超高圧水銀ランプ350Wのランプ電源
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業界
半導体製造
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装置
マスクアライナ装置搭載用
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波長
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課題
ランプが点灯しない
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UVモニター用特注センサヘッド開発によるロングアークランプの照度測定
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用途
照度測定
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業界
電子デバイス製造
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装置
モールディング装置
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波長
365nm
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課題
照度計の劣化、測定の実現
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ライトガイド導光型UV-LED光源の開発でコスト削減・環境負荷低減
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
365nm
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課題
コスト削減・環境負荷低減
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Hg-Xe250Wランプ光源の代替UV光源開発
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用途
硬化・接着
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業界
電子部品製造
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装置
電子部品製造装置
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波長
254nm 365nm 405nm 436nm
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課題
販売終息の光源に関する代替品の開発
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ライトガイドの交換でタクトタイム短縮
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用途
硬化・接着
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業界
モーター製造
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装置
ブラシ付きモータ製造装置
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波長
365nm
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課題
タクトタイムの短縮
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高スループットの実現とマスク交換時の作業効率化
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
254nm 365nm 405nm 436nm
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課題
高スループットの実現
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極小レンズの短時間接着の実現
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用途
硬化・接着
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業界
カメラ製造
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装置
カメラモジュール用組立装置
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波長
365nm 405nm
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課題
短時間接着の実現
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レチクル用光源の搭載でアライメントエラー回避
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
ステッパー
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波長
365nm 430nm
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課題
アライメントエラー回避
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液晶パネル周辺露光用 UVファイバー不要でランニングコスト低減
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用途
露光
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業界
液晶パネル製造
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装置
FPD露光装置
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波長
405nm
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課題
UVファイバー等消耗品の削減によるランニングコスト低減
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ウエハ周辺露光用光源の置き換えでコスト30％以上削減
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
365nm
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課題
初期コストとランニングコスト削減
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