海外メーカー製のUVランプ光源の修理

製品分類

UVランプ光源
装置

マスクアライナ装置搭載用
業界

半導体製造
波長
照射エリア

-
課題

ランプが点灯しない
用途

超高圧水銀ランプ350Wのランプ電源

お客様の課題

海外製の古い装置に搭載されているUVランプ光源装置で、いつも通り使用しようとしたがランプが点灯しなくなってしまっておりました。海外メーカーに修理依頼を行ったが、古い装置のため対応できないと言われたため、弊社の方で修理対応ができないか？と言うことでご連絡を頂きました。

提案・導入効果

故障した光源装置の状況の聞き取りと所有されている装置の技術資料を送付頂きましたが、現品の状況を確認し、以降の対応についてご提案することになりました。

現品を確認したところ電源はイグナイターの動作までは確認できましたが、それ以降の動作に問題があり点灯に至らないことが判明しました。現品そのものを修理することは、使用している部品や配線方法から考え不可能と判断しました。

そのうえでお客様のご意向をお伺いしたところ、ランプが点灯さえすれば研究を継続できるので、何とかそこまで復旧させて欲しいとのことでしたので、弊社からは、現行のランプハウスに接続可能なランプを点灯させるのみの単体機能電源装置を新規で製作するご提案をさせて頂きました。

電源本体
外観図

設計のポイント

現行電源はドロッパー方式でしたが、点灯する上では問題ないため軽量小型のスイッチング電源方式に変更しました。

ランプは超高圧水銀ランプの350Wで弊社の光源装置としては取り扱がありませんでしたが、搭載ランプのメーカーが判明していたこともあり電源の入手には問題はありませんでした。

お客様のご意向は「ランプが点灯すればよい」とのことでしたので、必要のない機能はすべて削除しましたが、安全性に配慮しインターロック機能は追加しました。

また、現行のランプハウスにそのまま接続できるようにするため、現行電源から再利用できる部品はお客様のご了承を受け利用し、極力費用の低減をするようにしました。

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