課題解決事例

ライトガイド導光型UV-LED光源の開発でコスト削減・環境負荷低減

• 用途

  露光

• 業界

  半導体製造

• 装置

  コータデベロッパ

• 波長

  365nm

• 課題

  コスト削減・環境負荷低減

高スループットの実現とマスク交換時の作業効率化

• 用途

  露光

• 業界

  半導体製造

• 装置

  コータデベロッパ

• 波長

  254nm 365nm 405nm 436nm

• 課題

  高スループットの実現

ウエハ周辺露光用光源の置き換えでコスト30％以上削減

• 用途

  露光

• 業界

  半導体製造

• 装置

  コータデベロッパ

• 波長

  365nm

• 課題

  初期コストとランニングコスト削減