業界 > 半導体製造の課題解決事例 一覧
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コリメートユニットの開発
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
アライナー用光源
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波長
365nm
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課題
UV-LED光源に代替したい
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海外メーカー製のUVランプ光源の修理
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用途
超高圧水銀ランプ350Wのランプ電源
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業界
半導体製造
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装置
マスクアライナ装置搭載用
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波長
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課題
ランプが点灯しない
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ライトガイド導光型UV-LED光源の開発でコスト削減・環境負荷低減
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
365nm
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課題
コスト削減・環境負荷低減
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高スループットの実現とマスク交換時の作業効率化
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
254nm 365nm 405nm 436nm
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課題
高スループットの実現
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レチクル用光源の搭載でアライメントエラー回避
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
ステッパー
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波長
365nm 430nm
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課題
アライメントエラー回避
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ウエハ周辺露光用光源の置き換えでコスト30％以上削減
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
365nm
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課題
初期コストとランニングコスト削減
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