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Hg-Xe250Wランプ光源の代替UV光源開発
用途
硬化・接着
業界
電子部品製造
装置
電子部品製造装置
波長
254nm 365nm 405nm 436nm
課題
販売終息の光源に関する代替品の開発
高スループットの実現とマスク交換時の作業効率化
露光
半導体製造
コータデベロッパ
高スループットの実現
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