波長域の430nmについて、特徴と主な使用用途を教えてください。
波長域の430nmは、可視光線の一種です。可視光線とは電磁波のうち、人間の目で見える波長になります。一方で、可視光線より波長の短いものを紫外線、長いものを赤外線といい、それらは人間の目で見ることはできません。
波長域の430nmの周辺領域として436nmがありますが、436nmはg線と呼ばれ、水銀スペクトル線のことを指します。
半導体ウエハーへのパターン形成には主に、フォトリソグラフィが利用されています。この時、露光に使用される光の波長が、g線(436nm)やi線(365nm)、KrF(248nm)やArF(193nm)になります。
現在では、微細化が進み、g線(436nm)から、i線(365nm)→KrF(248nm)→ArF(193nm)と短波長化が進んでおります。
具体的には、
・液晶の周辺露光用
・電子基板のパターニング用
以上の用途で、波長域の436nm、および周辺領域にある430nmは使用されます。
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