紫外線照射装置、UV-LED、UV Lampの技術情報サイト

周辺露光装置のリプレイスを検討しています。現在、UVランプを使用しているのですが、新規装置にはUV-LEDを搭載したいと考えていますが、可能なのでしょうか。

使用されているレジストの種類によっては、対応が可能です。i線、g線のレジストについては対応が可能となりますが、KrF、ArFについては対応不可となります。

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